十八年，授山东巡抚。会岁祲，民多流亡，维翰疏请赈恤，并截留漕米五万石发济南仓存贮，散给饥民。又疏言：“青、莱等府距临清仓远，办解甚艰。请永行改折，以息转输。”民大悦服。二十一年，代李之芳为浙江总督。之芳按治军士鼓譟，系累二百馀人。维翰至，即日定谳，多平反。二十二年冬，调福建，未上官，二十三年春，卒，谥清惠。
论曰：李率泰镇福建，御郑成功父子，赵廷臣督浙江，执张煌言，有功於戡定。郎廷佐釐逋赋。佟凤彩均里甲、蠲夫柳，为民袪害。麻勒吉初奉使迫张玄锡至死，圣祖谕斥其纵恣。然於江南有惠政，阿席熙、玛祜清望尤过之。施维翰在台敢言，出持疆节，措置得大体。皆康熙初贤大吏也。恺悌君子，屏藩王国，厥绩懋矣！